爱思强在photontonic West推出新的G10-AsP系统/爱思强的行星技术为下一代高分辨率微型LED显示器和激光器奠定了基础

爱思强的行星技术为下一代高分辨率微型LED显示器和激光器奠定了基础

爱思强(FSE: AIXA, ISIN DE000A0WMPJ6)向市场推出首个全自动AsP平台。新系统G10-AsP解决了微型LED和激光器件领域不断增长的需求。作为业内首款系统,G10-AsP能够满足非常高且复杂的要求,实现稳健的大批量生产。

“微型led将彻底改变显示器的世界,因为它们提供了更好的耐用性、更长的寿命、更好的画质和非常低的能耗。然而,这种创新技术对生产过程提出了挑战,因为它要求最低的缺陷水平和最高的均匀率。解决这一切的答案是我们的新G10-AsP,因为它提供了业界第一个全自动流程。新系统实现了同类产品中最高的吞吐量,具有前所未有的一致性和缺陷水平,”爱思强首席执行官兼总裁Felix Grawert博士说。

这是第一次,采用最严格的材料要求和将芯片尺寸减小到10微米或更小的Micro led的真正大规模生产正在成为现实。此外,G10-AsP还能满足大批量生产InP(磷化铟)激光器和VCSEL(垂直腔面发射激光器)的复杂要求。

新平台G10-AsP将于2023年2月1日在美国旧金山举行的光子西部展览会上正式推出。在此次活动中,爱思强的专家将介绍新系统:他们将解释新平台中的所有创新,以及它将如何提供同类产品中最高的吞吐量和最大限度地提高洁净室利用率。

新型全自动G10-AsP是市场上发布的最大的200mm AsP批处理反应器,具有原位清洗和自动盒对盒(C2C)晶片加载。前端首次可以配备SMIF(标准机械接口)舱,以进一步减少外延晶片暴露在室内环境中。通过内置的原位清洗,用户可以根据需要重置腔室条件-无论是在每个工艺运行后达到最苛刻的要求,还是在生产活动后受益于最高的吞吐量。该平台基于成功的行星反应器®技术,该技术将多晶圆批式反应器概念与单片旋转相结合,以保证最高的晶圆均匀性。

微型led不仅将用于下一代电视显示器,还将用于未来的智能手表、智能手机、增强现实(AR)投影或汽车显示器。分析人士预计,在未来五到十年,这一领域将成为led的最大市场。

对于先进的Micro led,以及InP和VCSEL应用来说,要达到更高的水平,一个巨大的挑战仍然是均匀性:优化的晶圆上均匀性和晶圆间均匀性必须在大批量生产过程中完成。新款G10-AsP在这些指标方面树立了新的标准,与上一代相比,性能提升了两到三倍。因此,这个全自动平台将开创一个生产微型LED和光子器件的新时代,克服以前阻碍大规模生产的主要障碍。

红外激光器和探测器等光子器件已经在市场上广泛采用。在电信领域,它们为管理不断增长的数据量奠定了基础,这些数据量与不断提高的带宽要求相关联。此外,它们还可以实现3D传感,例如面部识别,以及用于自动驾驶的先进技术:随着这项技术的不断发展,光束必须映射更大更宽的区域。这需要更严格的波长公差,这意味着对外延层沉积的要求非常严格。新的G10-AsP可以通过提供对外延过程的显著细化控制来满足这一需求,提高材料精度,减少缺陷,从而提高成品率和更好的均匀性。

在微型LED的生产中,提高均匀性是经济可行的大规模生产的先决条件:微型LED显示屏依赖于特殊的印章或矩阵传输过程,其中数千个只有几微米大小的LED芯片(阵列)被采集和传输。因为整个像素阵列都是从外接晶圆基板传输过来的,所以需要几乎完美的一致性——或者你能想象有人在购买智能手表或智能手机时,显示屏的一个角落和另一个角落的颜色不同吗?

新的全自动AIX G10-AsP是市场上发布的最大的200mm AsP批处理反应器,具有原位清洗和自动盒对盒(C2C)晶片加载。

上映日期:2022年5月31日/ 11月30日
PDF格式:
语言:繁体中文/英文
页数:130-150页(或有更改)

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